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VIGA法真空雾化制粉装置，是为了满足在真空条件下雾化制粉工艺的研究与小批量生产而设计的装置。熔融金属或其合金在合适的真空或气体保护环境下，金属液体经过保温坩埚、导流嘴流出（向下），通过喷嘴用高压保护性气体，将金属液流雾化破碎成大量细小的液滴。液滴在飞行中凝固成球形或是亚球形颗粒，达到制粉的目的。

EIGA法真空雾化制粉装置，适用于高纯钛、铌、锆等高活性金属及其合金粉末的制备。在合适的真空或保护气体环境下,将预制好的合金棒材进行区域精炼，金属液体连续垂直穿过喷嘴往下流，通过紧耦合喷嘴由高压气流将金属液体雾化破碎成大量细小的液滴，细小的液滴在飞行中凝固成颗粒。粉末气体混合物通过输送管送至旋风分离器中，在此处粗粉、细粉与雾化气体进行分离，金属粉末被收集在密封容器中。